Plazma Ark Tespiti için Sion RF Dedektörü

İNVASİF OLMAYAN KENARDA KALDIRILABİLEN RF-DETEKTÖR, iPVD, PECVD VE AŞINDIRMA PROSESLERİNDE HIZLI IŞIK KEMERİ TANIMASI SAĞLAR. Azaltılmış wafer kayıpları ve daha yüksek verimlilikler Plazma işleme sırasında oluşan ışık kemerleri, hedef ve odada hasara yol açarak ardından substrat hasarı ve parçacık oluşumuna neden olabilir. Miniatürleşmenin artmasıyla birlikte, mikroelektronik cihazlar ışık kemeri kaynaklı hasarlara karşı giderek daha hassas hale gelmektedir. Işık kemerleri, iyonize fiziksel buhar birikimi (iPVD), plazma destekli kimyasal buhar birikimi (PECVD) ve aşındırma uygulamaları gibi tüm plazma destekli süreçlerde ortaya çıkabilir. INFICON Sion ışık kemeri dedektörü, kritik bir ilk savunma hattı oluşturmaktadır. Sion sayesinde mikro ışık kemerleri hızlı bir şekilde tespit edilebilir ve önemli hasarlar oluşmadan veya atık meydana gelmeden önce gerekli önlemler alınabilir.