INFICON SKY CDG100D manometreleri, doğru toplam basınç ölçümü ve kontrolü için en iyi tercihinizdir. CDG100D manometreleri, zorlu yarı iletken ve plazma süreçlerinde üstün performans için 100 °C'de sıcaklık kontrollüdür. 100 mTorr'dan 1000 Torr'a kadar tam ölçekli aralıklarla, tüm yaygın flanş tipleri ve alan veriyolu arayüzleri ile mevcuttur ve gaz türünden bağımsız, lineer 0'dan 10 V'a kadar basınç sinyali sağlar. INFICON kapasitans manometreleri, korozyona dayanıklı ultra saf alümina seramik diyafram kullanır. Seramik sensörün avantajları arasında daha iyi sinyal stabilitesi, atmosferden daha hızlı toparlanma, kısa ısınma süresi ve olağanüstü bir ömür bulunmaktadır. INFICON CDG, zorlu yarı iletken, plazma ve vakum uygulamaları için yüksek kaliteli, maliyet etkin basınç sensörleridir.
EtherCAT dijital arayüzü şimdi mevcut!
(1) 25 °C ortam çalışma sıcaklığında, 2 saatlik çalışma sonrası sıcaklık etkisi olmadan doğrusal olmayanlık, histerezis, tekrarlanabilirlik.
(2)...
Doğruluk (1): 0.2
sıfırda: 0.0025
aralıkta: 0.02
Maks. basınç: 400
Çözünürlük: 0.003
En düşük okuma: 0.01
En düşük önerilen okuma: 0.05
En düşük önerilen kontrol basıncı: 0.5
Çalışma (ortam) (5): +10 … +50
Flanşta pişirme: ≤110
Depolama: –20 … +65
Besleme voltajı: +14 … +30 VDC veya ±15 V (±5%)
Isınma sırasında: ≤15
Çalışma sıcaklığında: ≤10
Çıkış sinyali (analog): 0 … +10
Tepki süresi (2): 30
Koruma derecesi: IP 40
CE uygunluğu: EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL sertifikası: UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI uyumluluğu (5): SEMI S2
Elektrik bağlantısı: D-sub, 15 pin, erkek
Ayar noktası sayısı: 2 (SP1, SP2)
Röle kontağı: ≤30
Protokol: RS232-C
Okuma: basınç, durum, ID
Ayar: ayar noktaları, filtre, sıfır ayarı, fabrika sıfırlama, DC ofset
Vakuma maruz kalan malzemeler: Alüminyum oksit seramik (AI 2O 3), paslanmaz çelik (AISI 316L (4))
I. hacim 1/2'' tüp: 4.2 (0.26)
I. hacim DN 16 ISO KF: 4.2 (0.26)
I. hacim DN 16 CF-R: 4.2 (0.26)
I. hacim 8 VCR®: 4.2 (0.26)
Ağırlık 1/2'' tüp: 837
Ağırlık DN 16 ISO KF: 852
Ağırlık DN 16 CF-R: 875
Ağırlık 8 VCR®: 897
Protokol EtherCAT: EtherCAT için özel protokol
İletişim standartları: Vakum Basınç Manometresi