TOPOS Enterferometrik Ölçüm Sistemleri
TOPOS İnterferometrik Ölçüm Sistemleri, hassas işlenmiş parçaların temassız düzlem kontrolü için
TOPOS interferometreleri, ışığın kesintili düşüş prensibine göre çalışır, bu sayede düzlemliği, planglas veya Fizeau interferometresi ile artık bir şerit görüntüsü göstermeyen daha pürüzlü parçaların da ölçülmesi mümkündür. Bir bilgisayar, girişim şerit görüntüsünden bir parçanın düzlemliğini belirler. Zımparalanmış veya ince işlenmiş parçaların yanı sıra, parlatılmış parçalar da ölçülebilir. Parçalar çeşitli malzemelerden oluşabilir:
- Metal (Çelik, Alüminyum, Bronz, Bakır, vb.)
- Seramik (AL2O3, SiC, SiN, vb.)
- Plastik
- vb.
İnterferometreler, üretim alanında işleme makinesinin yakınında kurulabilir. Mutlak hassasiyet, tüm ölçüm alanında 0.1 µm'ye kadar ulaşır.