... sahip olup %40-50 açık gözenekliliğe sahiptir ve 1 ile 100 mikron arasında değişen gözenek boyutlarıyla mevcuttur.
Gözenekli Seramiğin Üç Ana Uygulaması:
- Vakum Chuck, örneğin çizim makinesi vakum chuck'ı, silikon wafer vakum chuck'ı.
- Adsorpsiyon platformu.
- Süspansiyon platformu.
Özellikle, LED wafer işleme gibi yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Mikro-gözenekli seramik çalışma diski, çeşitli yarı iletken wafer üretim süreçlerinde adsorpsiyon ve taşıma için özel bir araçtır ve inceltme, kesme, temizleme ve taşıma gibi süreçlerde uygulanmaktadır.