Gaz ve pompa hatları ısıtıcıları - Hatlarda donma veya yoğunlaşmayı önlemek için izleme ısıtıcıları

Freek pompa ve gaz hattı ısıtıcıları, hatlarda donmayı veya yoğunlaşmayı önlemek amacıyla sıcaklıkları düzenlemek için tasarlanmıştır. Tüm ısıtıcılarımızda olduğu gibi, bunlar da sizin özel gereksinimlerinize göre tasarlanabilir ve üretilebilir. Gaz ve pompa hattı ısıtıcılarının en sık uygulandığı alan, Tetraetil Orto Silikat (TEOS), Bor Triklorür (BCl3), Alüminyum Klorür (AlCl3), Klor Triyodür (ClF3) ve Dikloro Silan (DCS) gibi gazların düşük sıcaklıklarda yoğunlaştığı yarı iletken süreçleridir. Bu durum gerçekleşirse, wafer hatalarına yol açabilir. Gaz ve pompa hattı ısıtıcıları, hatları sürekli olarak ısıtarak basit bir ısıtma çözümü sunar ve yoğunlaşma birikimini önler. Optimum hat sıcaklığı, işleme bağlı olarak değişiklik gösterecektir.