Almanya, Menden
1950
50-99
Teslimat: Dünya çapında
Üretim... (ClF3) ve Dikloro Silan (DCS) gibi gazların düşük sıcaklıklarda yoğunlaştığı yarı iletken süreçleridir. Bu durum gerçekleşirse, wafer hatalarına yol açabilir. Gaz ve pompa hattı ısıtıcıları, hatları sürekli olarak ısıtarak basit bir ısıtma çözümü sunar ve yoğunlaşma birikimini önler. Optimum hat sıcaklığı, işleme bağlı olarak değişiklik gösterecektir.
