RF Algılama Teknolojisi

FabGuard ile RF Sensörü, Süreç Değişkenliğini Önemli Ölçüde Azaltmak İçin Gerçek Zamanlı Plazma Süreç Analizi Sağlar INFICON RF sensör teknolojisi, yarı iletken işleme araçları için son derece hassas, geniş bant, frekans ayırt edici RF ölçümü sağlar. Bu RF verileri, hem süreç geliştirme hem de üretim süreci sorunlarının gerçek plazma koşulları hakkında ayrıntılı içgörüler sunarak süreç değişkenliğini önemli ölçüde azaltır. Gelişmiş süreç kontrolü için en son in situ sensörler arasında yer alan bu müdahale etmeyen, hat içi kablo montajlı RF sensörü, kritik tanısal bilgileri sunmak için FabGuard Sensör Entegrasyonu ve Analiz Sistemi ile bir araya gelir; örneğin, doğru odacık ve süreç gücü ile empedans ölçümü, arızaların kök neden analizi (eşleşme ağı sorunları gibi), odacık eşleştirmesi için süreç parmak izi oluşturma ve PVD, CVD ve aşındırma uygulamalarında wafer metrologisi modelleme. FabGuard ile INFICON RF sensör teknolojisi, wafer metrologisini tahmin eden son derece hassas modeller üretir...