...Modüler Wafer Yönetim Sistemi, waferlerin tüm manipülasyon süreçlerini kolaylaştırır. Yükleme ve boşaltma, taşıma, kavrama, muayene, sınıflandırma ve ayırma tek bir sistemde uygulanabilir.
Wafer, modüler sistem boyunca ultrasonik teknoloji kullanılarak uzakta tutulur, böylece mikro çizikler ve kontaminasyon oluşmaz.
Modüler Wafer Yönetim Sistemi'nin Özellikleri:
- Modüler tasarım
- Temassız taşıma
- Müşteri spesifikasyonlarına göre özelleştirilebilir
- Bir sistemde birden fazla sürecin entegrasyonu...
... maksimum verim ve çıktı sağlar. Temassız hücre taşıma, yüzey kusurları veya mikro çatlaklar olmadan işleme imkanı sunar.
Uçuşta lazer işleme ile rakipsiz maliyet fayda oranı
Temassızwafer taşıma
Yüksek verim ve etkinlik (> 3.800 wph)
Düşük sahip olma maliyeti ve CAPEX
Mevcut üretim hatları için yükseltme veya genişletme...