Küme Sistemleri
Küme SistemleriKüme Sistemleri

Küme Sistemleri

AURION, vakum altında substrat işleme ile ihtiyaçlarınıza özel çok odalı sistemler sunmaktadır. Mevcut konfigürasyonlar arasında yükleme odaları, transfer odaları ve sputter ve RIE süreçleri için işlem modülleri bulunmaktadır.
Benzer Ürünler
1/8
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakt sistemler, minimal alan - Kısa işlem süreleri için yüksek plazma yoğunlukları - 2 boyutlu gaz giriş sistemi ile plazma dizisi aracılığıyla opt...
DE-63500 Seligenstadt
Sputter Sistemleri (Sputtering)
Sputter Sistemleri (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
Inline sistemler
Inline sistemler
AURION, ihtiyaçlarınıza özel olarak tasarlanmış, vakum altında substrat taşıma sistemine sahip çok odacıklı sistemler sunmaktadır. Mevcut konfigürasy...
DE-63500 Seligenstadt
Plazma Sistemleri
Plazma Sistemleri
Plazma süreçleri kullanarak yüzeylerin işlenmesi ve kaplanması için komple sistemler Atmosferik basınç plazması, reaktif iyon etching (RIE) ve mikrod...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Maks. 4 gaz akış kontrolörü, her kontrolör için 500 sccm'ye kadar akış hızı, güç bağlantısı: 3/N/PE AC 400/230V, odacık hacmi: 30 l, boyutlar (GxDxh):...
DE-63500 Seligenstadt
Parçacık Hızlandırıcıları için HF Sistemleri (ACCELOS SERİSİ)
Parçacık Hızlandırıcıları için HF Sistemleri (ACCELOS SERİSİ)
Parçacık hızlandırıcılarında ışın manipülasyonu (örneğin, grup sıkıştırma), kavitelerden, ışın borusundan ve HF amplifikatöründen oluşan tam entegre s...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS Konsepti: Plazma Sistemleri
KIVOS Konsepti: Plazma Sistemleri
KIVOS, plazma sistemleri için çok esnek, modüler bir konsepttir. Bu sistemler, yüzeylerin ince temizliği ve aktivasyonu, reaktif iyon etching (RIE) v...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-İLKESİ: CYLOS 160/RIE
RIE-İLKESİ: CYLOS 160/RIE
Alüminyum veya paslanmaz çelikten yapılmış vakum kapları, yağ buharı ayırıcı ve yağ geri dönüşü ile birlikte, korozif-gaz geçirmez tasarıma sahip vaku...
DE-63500 Seligenstadt